|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ВОССТАНОВЛЕНИЯ ЗОНДОВ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ |  |
Номер публикации патента: 2241066 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/14 C23C014/35 B23P006/00 | | Аналоги изобретения: | МИТИН Б.С. Порошковая металлургия и напыленные покрытия. - М.: Металлургия, 1987, с.7, 703, 704. RU 2138381 C1, 27.09.1999. US 6290859 А, 18.09.2001. МОРЯКОВ О.С. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 7. Элионная обработка. Учебное пособие для ПТУ. - М.: Высшая школа, 1990. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (RU) | | Изобретатели: | Ивашов Е.Н. (RU)
Степочкин А.А. (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области нанотехнологии, а именно к способам восстановления зондов. Предложен способ восстановления изношенных поверхностей вольфрамовых зондов путем ионизации инертного газа электронами, возбужденными пересекающимися электрическим и магнитным полями, бомбардировки ионизированным инертным газом катода-мишени и осаждения вольфрама на изношенные поверхности вольфрамовых зондов, при этом на подложке закрепляют пакет изношенных вольфрамовых зондов, установленных в нем на рассто
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента