|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 2213159 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 C23C014/50 | | Аналоги изобретения: | JP 6039693, 15.02.1994. JP 60080266, 13.04.1987. JP 62133065, 16.06.1987. JP 60063367, 28.03.1985. RU 2089662 С1, 10.09.1997. SU 1307887 А1, 10.09.1995. RU 1644553 С, 15.10.1994. |
| Имя заявителя: | Дочернее государственное предприятие "Институт ядерной физики" Национального ядерного центра Республики Казахстан (KZ) | | Изобретатели: | Тулеушев Адил Жианшахович (KZ)
Володин Валерий Николаевич (KZ)
Тулеушев Юрий Жианшахович (KZ)
Лисицын Владимир Николаевич (KZ)
Ким Светлана Николаевна (KZ)
Асанов Александр Бикетович (KZ) | | Патентообладатели: | Дочернее государственное предприятие "Институт ядерной физики" Национального ядерного центра Республики Казахстан (KZ) |
Реферат | |
Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности. Установка включает вакуумную камеру, по меньшей мере, один магнетронный распылитель, системы эвакуации, подачи и регулирования расхода газа, вращаемое устройство для перемещения подложек карусельного типа цилиндрической формы с закрытыми торцами, внутренн
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента