|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЛЕВИТИРУЮЩЕЕ ТРАНСПОРТНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ ВНУТРИ ВАКУУМНОГО ОБЪЕМА |  |
Номер публикации патента: 2198241 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/50 | | Аналоги изобретения: | ДМИТРИЕВ Е.В. и др. Многокамерная установка непрерывного действия "Электроника ТМ-1203" для нанесения пленок в вакууме. - Электронная промышленность, 1992, №6, с.33-34. RU 2020190 C1, 30.09.1994. RU 2023746 C1, 30.11.1994. WO 96/35823 A1, 14.11.1996. ЕР 0448782 А2, 02.10.1991. ЕР 0476219 А2, 28.03.1992. ЕР 0289194 А2, 02.11.1988. |
| Имя заявителя: | Нитусов Юрий Евгеньевич,Рыбкина Ольга Олеговна | | Изобретатели: | Нитусов Ю.Е.
Рыбкина О.О.
Панфилов Ю.В. | | Патентообладатели: | Нитусов Юрий Евгеньевич
Рыбкина Ольга Олеговна |
Реферат | |
Изобретение относится к вспомогательным устройствам, входящим в технологический комплекс для нанесения покрытий при производстве изделий электронной техники. Предлагается транспортное устройство, содержащее транспортную тележку с подложками, расположенную внутри вакуумной камеры, в котором применены постоянные магниты, расположенные одноименными полюсами друг к другу, причем часть из них, образующая транспортные несущие дорожки, расположена снаружи под днищем вакуумной камеры, а четыре расположен
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента