|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ВАКУУМНОГО ИОННО - ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКУ |  |
Номер публикации патента: 2192501 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/34 C23C014/02 | | Аналоги изобретения: | Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. - М.: Машиностроение, 1991, с. 79-83. RU 2096493 C1, 20.11.1997. ЕР 0242100 С1, 21.10.1987. GB 2323855 А, 07.10.1998. US 4622919 А, 18.11.1986. WO 93/13238 А1, 08.07.1993. |
| Имя заявителя: | ОАО "Научно-производственное объединение энергетического машиностроения им. акад. В.П.Глушко" | | Изобретатели: | Голощапов Ф.А.
Кузнецов И.А.
Петров В.П.
Пестов Ю.А.
Семенов В.Н.
Деркач Г.Г.
Додонов А.И. | | Патентообладатели: | ОАО "Научно-производственное объединение энергетического машиностроения им. акад. В.П.Глушко" |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано при изготовлении конструкций, работающих в энергетических установках при экстремальных условиях. Способ включает создание разности электрических потенциалов между подложкой и катодом и очистку поверхности подложки потоком ионов, снижение разности потенциалов и нанесение покрытия, проведение отжига покрытия путем повышения разности потенциалов, при этом ионный поток и поток испаряющегося материала, идущий от катода к подложке при очистке, экранируют, очистку про
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента