На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2190036 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C014/30 | Аналоги изобретения: | SU 1750270 А1, 15.04.1994. RU 2307905 А1, 10.06.2000. RU 2041972 С1, 20.08.1995. RU 2014364 С1, 15.06.1994. DE 3503693 А1, 03.10.1985. ЕР 0158972 А2, 23.10.1985. WO 94/09176 А1, 28.04.1994. |
Имя заявителя: | Владикавказский технологический центр "БАСПИК" | Изобретатели: | Кулов С.К. Пергаменцев Ю.Л. Платов Э.А. Кесаев С.А. | Патентообладатели: | Владикавказский технологический центр "БАСПИК" |
Реферат | |
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумному напылению пленок, и направлено на повышение качества напыляемых пленок за счет снижения расхода испаряемого материала и увеличения скорости испарения. Способ включает формирование электронного пучка, воздействие на него ускоряющим напряжением, испарение материала мишени электронным пучком и его осаждение на подложку, при этом осуществляют дополнительный нагрев материала мишени направленным тепловым излучением.
|