|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОЗРАЧНОЙ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕЙ ПЛЕНКИ НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ ИНДИЯ И ОЛОВА |  |
Номер публикации патента: 2181389 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/08 C23C014/56 | | Аналоги изобретения: | SU 1499573, 07.03.1992. RU 2112076 C1, 27.05.1998. ЕР 0293645 А1, 07.12.1988. US 5473456 A, 05.12.1995. JP 63-178414 A, 22.07.1988. ЕР 0161088 А1, 13.11.1985. |
| Имя заявителя: | Омский научно-исследовательский институт приборостроения | | Изобретатели: | Зима В.Н. | | Патентообладатели: | Омский научно-исследовательский институт приборостроения |
Реферат | |
Изобретение относится к изготовлению приборов оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении дисплеев, светоизлучающих диодов и затворов полупроводниковых структур типа металл-диэлектрик-полупроводник. Способ включает магнетронное распыление мишени из сплава индий-олово в среде аргона и кислорода, напыление оксидной пленки и ее отжиг в высоком вакууме при температуре 400oС в течение не менее 30 мин. Изобретение направлено на улучшение электрических характеристик пленок на основе оксидов индия-олова и уменьшение трудоемкости их изготовления.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента