На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПОЛУЧЕНИЕ ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ПЛАЗМЫ В КРИВОЛИНЕЙНОМ ПЛАЗМОВОДЕ И НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЯ НА ПОДЛОЖКУ | |
Номер публикации патента: 2173911 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01J037/32 H01J037/36 C23C014/02 H05H001/02 | Аналоги изобретения: | Физика плазмы 1978 4(4), с. 425-428. RU 2068029 С1, 20.10.1996. RU 2074903 С1, 10.03.1997. WO 9216959 A, 01.10.1992. |
Имя заявителя: | Додонов Александр Игоревич | Изобретатели: | Додонов А.И. Башков В.М. | Патентообладатели: | Додонов Александр Игоревич Башков Валерий Михайлович |
Реферат | |
Изобретение относится к способу и устройству для получения плазмы электрического дугового разряда и для ее использования при нанесении покрытий на подложку. Техническим результатом является повышение эффективности очистки и активации поверхности подложки и повышение качества покрытия. Разделенная плазма электрического дугового разряда получается с использованием электрического дугового разряда на холодном катоде путем пропускания его через криволинейный плазмовод. Указанная плазма создается внутри криволинейного плазмовода и электрический ток пропускается через нее в продольном направлении, создавая однородное по длине магнитное поле, тем самым позволяя наносить на подложку высококачественное покрытие с использованием распыления. 3 с. и 9 з.п.ф-лы, 2 ил., 2 табл.
|