|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ ГРАФИТОВЫХ ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЕЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2165999 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/24 C23C014/26 | | Аналоги изобретения: | JP 60-62577 1985. Виноградов В.И. и др. Повышение качества графитовых подложкодержателей. Электронная промышленность, 1985, N 6 (144), с. 42-44. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт молекулярной электроники | | Изобретатели: | Батюк С.Н.
Любушкин Е.Н.
Баранов Ю.Н.
Сигалов Э.Б.
Волков Н.С. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт молекулярной электроники |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы. Технический результат - повышение качества эпитаксиальных структур за счет улучшения газопрочности защитного покрытия и повышения срока службы подложкодержателя. Сущность изобретения: способ заключается в одновременной термообработке всей поверхности подложкодержателя при температуре 1300 - 1400oC в смеси Н2 + HCl при давлении 1 - 10 мм рт.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента