|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОГО ТЕЛА |  |
Номер публикации патента: 2161662 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/34 | | Аналоги изобретения: | SU 1764335 A1, 15.09.1994. SU 1723840 A1, 20.01.1997. RU 2055939 C1, 10.03.1996. RU 2095467 C1, 10.11.1997. RU 2026414 C1, 10.01.1995. RU 2007501 C1, 15.02.1994. GB 2164359 A1, 19.05.1986. EP 0175538 A1, 26.03.1986. EP 0572673 A1, 08.12.1993. WO 93/18201 A1, 16.09.1993. DE 3706127 A1, 29.01.1987. FR 2663042 A1, 12.12.1991. |
| Имя заявителя: | Слепцов Владимир Владимирович (RU) | | Изобретатели: | Слепцов В.В.(RU)
Бизюков Александр Анатольевич (UA)
Данцигер Манфред (DE) | | Патентообладатели: | Слепцов Владимир Владимирович (RU)
Бизюков Александр Анатольевич (UA)
Данцигер Манфред (DE) |
Реферат | |
Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технологии обработки поверхности твердого тела и предназначено для улучшения и придания требуемых электрофизических, химических и механических свойств поверхности изделий из металлов и сплавов, полупроводников, диэлектриков, сверхпроводников и других материалов. В рабочей камере устанавливают обрабатываемую деталь, создают вакуум, в газоразрядном промежутке зажигают разряд в импульсном режиме и осуществляют различные виды обработки поверхности детали в заданной последовательности импульсными ионно-плазменными потоками и/или импульсными потоками нейтральных частиц. После окончания обработки поверхности одного вида обеспечивают переход к другому типу разряда и соответствующую обработку поверхности. При обработке поверхности при каждом из типов разряда значение плотности мощности разряда выбирают в числовом промежутке, в котором зависимость скорости процесса обработки от плотности мощности нелинейна. Используемые импульсные разряды являются комбинированными, время нарастания импульса составляет не более 10 -15% от полной длительности импульса. Способ позволяет осуществлять различные виды обработки поверхности детали в любой заданной последовательности, оптимизировать для каждого вида обработки поверхности тип разряда в импульсном режиме и необходимую плотность мощности, что существенно увеличивают скорость обработки на единицу энергозатрат, повышает качество обработки и управляемость технологических процессов. 4 з.п. ф-лы, 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента