На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ВАКУУМНОЙ ИОННО - ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ |  |
Номер публикации патента: 2122602 |  |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C23C014/48 | Аналоги изобретения: | Технологическая инструкция И37.101.1434-97. EP 0175538 A1, 26.03.86. GB 2164359 A, 19.05.86. RU 2055939 C1, 10.09.96. WO 93/18201 A1, 16.09.93. US 5246741 A, 21.09.93. RU 94012466 A1, 10.12.95. |
Имя заявителя: | Акционерное общество "АвтоВАЗ" | Изобретатели: | Чумиков А.Б. Акифьев В.А. | Патентообладатели: | Акционерное общество "АвтоВАЗ" |
Реферат |  |
Способ включает загрузку в камеру предварительно очищенных от загрязнений деталей, получение в ней рабочего вакуума, проведение ионной очистки в среде инертного газа с помощью источника газовой плазмы на основе дугового разряда с накаленным катодом и вакуумное ионно-плазменное упрочнение, при этом перед ионной очисткой проводят электронный разогрев детали до температуры начала ионно-вакуумного упрочнения. Время ионной очистки определяют из следующего соотношения: T = A·So/In·U), где T - время ионной очистки, с; A - комплексный технологический параметр, постоянный для данного материала детали при фиксированных значениях тока дуги ИГП и температуры очистки, дж/м2; In - ток подложки в процессе ионной очистки; A, U - напряжение смещения на подложке, обеспечивающее режим термодинамического равновесия, В. Способ позволяет увеличить производительность процесса, повысить износостойкость, исключить растрескивание подложек. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
|