На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ЛОКАЛЬНОГО ЛАЗЕРНОГО НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНКИ | |
Номер публикации патента: 2117071 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C23C014/30 | Аналоги изобретения: | Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. - Л.: Машиностроение, 1986, с.148. |
Имя заявителя: | Санкт-Петербургский государственный институт точной механики и оптики (технический университет) | Изобретатели: | Вейко В.П. Шахно Е.А. | Патентообладатели: | Санкт-Петербургский государственный институт точной механики и оптики (технический университет) |
Реферат | |
Изобретение относится к области лазерной обработки материалов и может быть использовано в точном приборостроении, микроэлектронике, в изготовлении оптических и электронных элементов, в нанесении декоративных рисунков. Способ позволяет расширить класс материалов наносимых пленок. Способ включает перенесение материала донорной пленки, нанесенной на прозрачную для лазерного излучения подложку, на вторую подложку путем нагревания донорной пленки лазерным излучением через подложку, испарение материала второй подложки с ее поверхности пучком лазерного излучения, прошедшего через донорную пленку, причем толщину донорной пленки выбирают в соответствии с заданным массовым отношением материалов донорной пленки и второй подложки в составе осажденной пленки. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.
|