|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ УГЛЕРОДНОГО АЛМАЗОПОДОБНОГО ПОКРЫТИЯ В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2114210 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/06 C23C014/22 | | Аналоги изобретения: | 1. Jornal "Diamond and Related Materials". 1991, 1, p. 51-59. |
| Имя заявителя: | Гончаренко Валерий Павлович | | Изобретатели: | Гончаренко Валерий Павлович
Колпаков Александр Яковлевич
Маслов Анатолий Иванович | | Патентообладатели: | Гончаренко Валерий Павлович
Колпаков Александр Яковлевич
Маслов Анатолий Иванов |
Реферат | |
Способ включает помещение изделия в вакуумную камеру, обработку поверхности ускоренными ионами, нанесение на поверхность подслоя, электродуговое распыление графитового катода и получение углеродной плазмы, ускорение ионной компоненты углеродной плазмы и осаждение ее на поверхность изделия. При этом используют импульсный электродуговой разряд, при помощи которого на торцевой поверхности катода, возбуждают множество катодных пятен, перемещающихся по его поверхности со скоростью 10 - 30 м/с и генерирующих углеродную плазму с энергией ионов 40 -100 эВ и концентрацией ионов в плазме 1012 - 1014 см-3, причем изделие в вакуумной камере электроизолируют и поддерживают его температуру в пределах 200 - 450 К посредством регулирования частоты следования импульсов разряда. Способ позволяет повысить производительность, качество покрытия, его однородность и износостойкость. 10 з.п. ф-лы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента