На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

Номер публикации патента: 2113537

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  96120991		Получить полное описание патента

Реферат

Способ включает распыление алюминия в атмосфере азота с помощью вакуумно-дугового разряда при одновременном воздействии дополнительного газового разряда, в качестве которого используют тлеющий или высокочастотный разряд. При получении пленки на подложке из алюминия перед возбуждением вакуумно-дугового разряда возбуждают тлеющий разряд в атмосфере азота для очистки поверхности подложки и формирования промежуточного переходного слоя нитрида алюминия. Технический результат - обеспечение дополнительной ионизации азота и повышение потока ионов азота на подложку. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.

Вернуться к списку