На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ СПЛАВОВ | |
Номер публикации патента: 2111281 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C23C014/30 C23C014/48 | Аналоги изобретения: | Nucl. Instr. and Meth. in Phys.Res. В39, 1989, с.603-606. |
Имя заявителя: | Институт сильноточной электроники СО РАН | Изобретатели: | Назаров Д.С. Озур Г.Е. Проскуровский Д.И. Ротштейн В.П. Шулов В.А. | Патентообладатели: | Институт сильноточной электроники СО РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к методам модификации поверхностных слоев материалов, в частности к способам формирования поверхностных сплавов с помощью концентрированных потоков энергии (КВЭ). Сущность изобретения: в испарении мишени с помощью импульсного КПЭ и одновременном воздействии этого же потока на подложку, на которой формируется сплав. При этом мишень размещают между источником КПЭ и подложкой, а в качестве концентрированного потока энергии используют импульсный электронный пучок, транспортируемый в ведущем магнитном поле с максимальной энергией электронов 10 - 100 кэВ и током I, причем I > Iп, где Iп - значение тока Пирса в области между мишенью и подложкой. 3 ил.
|