|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОКОПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2105083 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/32 | | Аналоги изобретения: | 1. EP, 0412000, кл. C 23 C 14/32, 1991. 2. SU, 396450, кл. C 23 C 14/32, 1973. |
| Имя заявителя: | Кубанский государственный аграрный университет | | Изобретатели: | Бушмин А.П.
Пиль Ю.Ю.
Разнован О.Н. | | Патентообладатели: | Кубанский государственный аграрный университет |
Реферат | |
Изобретение относится к области микроэлектроники. Способ получения сверхпроводящих тонких пленок включает предварительный нагрев подложки до температуры 400 - 600oC, осаждение на подложку промежуточного слоя из металла, входящего в состав токопроизводящего материала, осаждение в виде линий методом физического испарения материала подложки. Устройство содержит испаритель взрывного типа, нагреватель подложки, регулирующую диафрагму, расположенную над испарителем, бункер с установленными в нем симметрично над испарителем дозаторами с лотками для подачи порошка промежуточного и токопроводящего слоев и снабженными вибраторами. 2 с. и 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента