На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ | |
Номер публикации патента: 2096933 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H05H001/24 C23C014/30 | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 287494, кл.C 23C 14/30, 1971. 2. Установка для ионного нанесения покрытия из нитрида и карбида титана "K-EQUIPMENT-750" KYMMENE-STROMBERG CORPORATION FINLAND, 1987. Рекламный проспект. |
Имя заявителя: | Товарищество с ограниченной ответственностью "Старт-А-Техно" | Изобретатели: | Тимергалиев Р.Ш. Губарев А.А. Середа Ю.В. Болдин А.В. | Патентообладатели: | Товарищество с ограниченной ответственностью "Старт-А-Техно" |
Реферат | |
Использование: в металлургической промышленности для вакуумной металлизации поверхностей и синтеза неорганических пленок в пучково-плазменном разряде, в частности в устройствах для плазмохимического нанесения покрытия. Сущность изобретения: устройство для плазмохимического нанесения покрытия снабжено вакуумными сопротивлениями, а вакуумная камера 1 выполнена с вакуумным отсеком 6, разделенным с упомянутой камерой упомянутыми сопротивлениями. Электронная пушка 9 выполнена с системой катодов, обеспечивающих формирование не менее двух электронных пучков, и установлена в вакуумном отсеке 6 с возможностью направления электронных пучков через вакуумные сопротивления соответственно в зону расположения твердого тела для поддержания процесса его испарения и в зону обрабатываемого изделия для поддержания в ней процесса плазмообразования. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.
|