|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2089660 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/42 H01J017/14 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент ФРГ N 3619194, кл. C 23 C 14/34, 1989. 2. Авторское свидетельство СССР N 297709, кл. C 23 C 14/42, 1971. |
| Имя заявителя: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) | | Изобретатели: | Ивашов Е.Н.
Кондрашов П.Е.
Оринчев С.М.
Слепцов В.В.
Степанчиков С.В. | | Патентообладатели: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) |
Реферат | |
Сущностью изобретения является катодный узел для получения тонких пленок в вакууме. При выполнении технологического процесса в вакууме происходит перемещение магнитной системы 2 по мере наращивания пленки на локальном участке посредством устройства перемещения 12. При этом ввиду предварительной регулировки зазоров в магнитной системе 2 с неподвижным ярмом 8 посредством перемещения сердечников 6, 7, выполненных в виде набора уголков, относительно ярма с помощью передачи винт-гайка 10, индукция магнитного поля является величиной постоянной на всей протяженности магнитной системы. Величину индукции магнитного поля можно изменять изменением тока в цепи катушки индуктивности 9. Устройство обеспечивает равномерность поля. 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента