|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И РЕСТАВРАЦИИ МИШЕНИ ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2068886 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | Минайчев В.Е., Одиноков В.В., Тюраева П.П. Магнетронные распылительные устройства. Обзоры по электронной технике. Серия: Технология, организация производства и оборудование.- 1979, вып.8, с.56. Авторское свидетельство СССР № 1025754, кл. С 23 С 14/35, 1979. |
| Имя заявителя: | Всесоюзный научно-исследовательский и проектный институт алюминиевой, магниевой и электродной промышленности | | Изобретатели: | Сильников В.Н.
Кейзман Э.С.
Симченко Н.В.
Жолобова Е.П.
Шустеров В.С.
Беляков Ю.И.
Бахаров Ю.В.
Тимофеев В.В.
Сильникова Е.Ф.
Хрусталев В.А.
Витошинский Ю.Н. | | Патентообладатели: | Акционерное общество открытого типа "Всероссийский алюминиево-магниевый институт" |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронной промышленности, стремительное развитие которой требует резкого увеличения производства полуфабрикатов из алюминия особой чистоты (АОЧ) в виде распыляемых мишеней. Изобретение позволяет значительно снизить расход дорогостоящего и дефицитного материала, т. к. заявляемый способ обеспечивает возможность использования мишеней, в которых лишь рабочая распыляемая часть выполнена из АОЧ. Остальная часть, изготовленная из алюминия высокой частоты (АВЧ), но с допустимым количеством примесей, может использоваться многократно, расходуемую часть изготавливают из прутка, придают ему форму углубления основы и проводят сварку под давлением, нагревая всю мишень до 330 - 450oC, и впрессовывая расходуемую часть в углубление. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента