|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ |  |
Номер публикации патента: 2068029 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/00 C23C014/24 C23C014/30 | | Аналоги изобретения: | 1. Заявка ФРГ N 2702120, кл. Н 05 Н 1/00, 1977. 2. К-EQUIPMENT 750 - установка для ионного нанесения покрытий из нитрида и карбида титана. Проспект фирмы "Kymmene-Stroberg Corporation". |
| Имя заявителя: | Товарищество с ограниченной ответственностью "Старт-А-Техно" | | Изобретатели: | Тимергалиев Р.Ш. | | Патентообладатели: | Товарищество с ограниченной ответственностью "Старт-А-Техно" |
Реферат | |
Иcпользование: в плазменной технике, преимущественно в процессах вакуумной металлизации поверхности и синтеза неорганических пленок в пучково-плазменном разряде. Сущность изобретения: в рабочей камере размещают обрабатываемое изделие и мишень твердого неорганического вещества, камеру вакуумируют, напускают в нее рабочий газ и формируют в зоне обработки поверхности изделия паровой поток, полученный испарением твердого неорганического вещества стационарным электронным пучком, в камере формируют по меньшей мере один дополнительный электронный пучок, направляют его в зону обработки поверхности изделия, причем дополнительный электронный пучок пересекает паровой поток. Предусмотрена подача в дополнительный электронный пучок дополнительного твердого неорганического вещества, его испарение и направление на поверхность изделия потока химически активных частиц из смеси паров твердых веществ и рабочего газа. Предпочтительным является формирование дополнительного электронного пучка ленточной конфигурации. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента