|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИЧЕСКОГО РИСУНКА В ТОНКОЙ ПЛЕНКЕ |  |
Номер публикации патента: 2063473 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/04 | | Аналоги изобретения: | Заявка Германии N 3918439, кл. C 23 C 14/50, 1989. Заявка Японии N 1-242768, кл. С 23 С 14/04, 1989. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество открытого типа "Рефлектор" | | Изобретатели: | Аношкин А.В.
Бондарь С.К.
Кузьмин Н.Г.
Севостьянов В.П. | | Патентообладатели: | Акционерное общество открытого типа "Рефлектор" |
Реферат | |
Устройство для формирования прецизионного топологического рисунка в тонкой пленке, наносимой в вакууме на диэлектрическую подложку, содержит металлическую маску из ферромагнитного материала, размещенную на лицевой стороне подложки, и магнит, расположенный с противоположной по отношению к маске стороны подложки, удерживающий и прижимающий маску к подложке. Между плоскостью магнита и подложкой введена прокладка из диамагнитного материала, в качестве магнита используется плоский магнит с чередующимися полюсами в виде полос, при этом толщина диамагнитной прокладки не превышает половины ширины полюса магнита. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента