|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИСПАРИТЕЛЬ |  |
Номер публикации патента: 2057202 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/12 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 863717, кл. C 23C 14/26, 1981. 2. Авторское свидетельство СССР N 1051134, кл. C 23C 14/26, 1983. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт точного машиностроения | | Изобретатели: | Буравцев А.Т.
Краснов В.Г.
Дубовиков Д.Б. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт точного машиностроения |
Реферат | |
Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий в вакууме. Жидкий реагент, в частности стирол, заливают в камеру 1 через входной патрубок 5, а вторую камеру 2 вакуумируют до 10-3 - 10-5 мм рт.ст. Из камеры 1 через трубопровод 4 и дозирующее устройство 3 реагент подают в камеру 2. Дозирующее устройство перекрывают и производят нагрев жидкого реагента до 160 - 180oС.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента