На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ВАКУУМНО - ДУГОВОЙ ИСТОЧНИК ПЛАЗМЫ | |
Номер публикации патента: 2053311 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C014/32 | Аналоги изобретения: | 1. Патент США N 4448659, кл. C 23C 15/00, 1984. 2. Аксенов И.И., Падалка В.Г., Хороших В.М. Формирование потоков металлической плазмы. Обзор, М.: ЦНИИатоминформ, 1984, с.13. |
Имя заявителя: | Гороховский Владимир Ильич | Изобретатели: | Гороховский Владимир Ильич | Патентообладатели: | Гороховский Владимир Ильич |
Реферат | |
Использование: нанесение вакуумных покрытий, применяемых в различных областях народного хозяйства, например в машиноприборостроении, в электронной технике и т.п. Цель - нанесение качественных покрытий на длинномерные и крупногабаритные изделия. Источник плазмы кроме статической системы магнитной стабилизации дополнительно снабжен динамической системой магнитной стабилизации.
|