|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ПУЧКОВО - ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2046154 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 C23C014/04 | | Аналоги изобретения: | 1. Данилин Б.С. и др. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982, с.45, рис.35,з. |
| Имя заявителя: | Ивашов Евгений Николаевич,Кондрашов Павел Евгеньевич,Оринчев Сергей Михайлович,Слепцов Владимир Владимирович,Степанчиков Сергей Валентинович | | Изобретатели: | Ивашов Евгений Николаевич
Кондрашов Павел Евгеньевич
Оринчев Сергей Михайлович
Слепцов Владимир Владимирович
Степанчиков Сергей Валентинович | | Патентообладатели: | Ивашов Евгений Николаевич
Кондрашов Павел Евгеньевич
Оринчев Сергей Михайлович
Слепцов Владимир Владимирович
Степанчиков Сергей Валентинович |
Реферат | |
Использование: в области нанесения тонких пленок в вакууме путем пучково-плазменного распыления. Сущность изобретения: в результате предложенной реконструкции механизма размещения катода-мишени обеспечивается ее равномерное распыление по всей поверхности. Катод-мишень установлен в направляющих с возможностью линейного перемещения от привода, а вдоль направляющих установлены электретно-магнитные экраны.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента