|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ |  |
Номер публикации патента: 2038416 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/50 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 300079, кл. C 23C 14/56, 1975. |
| Имя заявителя: | Ивашов Евгений Николаевич,Оринчев Сергей Михайлович,Степанчиков Сергей Валентинович,Кожевников Алексей Иванович | | Изобретатели: | Ивашов Евгений Николаевич
Оринчев Сергей Михайлович
Степанчиков Сергей Валентинович
Кожевников Алексей Иванович | | Патентообладатели: | Ивашов Евгений Николаевич
Оринчев Сергей Михайлович
Степанчиков Сергей Валентинович
Кожевников Алексей Иванович |
Реферат | |
Изобретение относится к области нанесения покрытий в экологически чистых вакуумных технологических установках. Задачей изобретения является получение слоев покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы при одновременном и независимом вращении подложки по трем координатным осям, а также улучшение состава остаточной газовой среды.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента