|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОЙ БЕРИЛЛИЕВОЙ ФОЛЬГИ |  |
Номер публикации патента: 2036244 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/22 | | Аналоги изобретения: | 1. Буккер Ю.М. и др. Тезисы доклада УШ Всесоюзной конференции по микроэлектронике. М., 1978. |
| Имя заявителя: | Национальный научный центр "Харьковский физико-технический институт" (UA) | | Изобретатели: | Волокита Геннадий Иванович[UA]
Карпов Евгений Семенович[UA]
Папиров Игорь Исакович[UA]
Шокуров Владимир Сергеевич[UA] | | Патентообладатели: | Национальный научный центр "Харьковский физико-технический институт" (UA) |
Реферат | |
Использование: получение тонкой бериллиевой фольги в вакууме. Сущность изобретения: в способе изготовления тонкой бериллиевой фольги для увеличения выхода годных, осаждение паров бериллия прерывают после образования слоя толщиной 0,5 - 5,0 мкм и формируют слои из окиси бериллия толщиной 2,0 - 10,0 нм.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента