На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

ИСПАРИТЕЛЬ

Номер публикации патента: 2031187

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  4954418		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в микроэлектронике для нанесения покрытий при изготовлении интегральных схем. Испаритель содержит установленные в вакуумной камере тигель с крышкой, в которой имеется центральное отверстие, нагреватель тигля, формирователь потока пара в виде конического сопла, механизм транспортировки тигля, нагреватель сопла в виде катушки электромагнита с коническим центральным отверстием в каркасе катушки, установленной на тигле соосно ему и являющеся крышкой тигля. Коническое сопло образовано внутренней поверхностью каркаса катушки и внешней поверхностью управляемого клапана, установленного в центральном отверстии крышки и выполненного в виде усеченного конуса из термостойкого магнитного сплава с полированным основанием, контактирующим с нижней полированной поверхностью сопла. В основании клапана имеются продольные каналы для выхода пара, в нагревателях сопла и тигля установлены датчики температуры в виде термопар, датчик температуры тигля установлен в продольном осевом углублении тигля, магнитопровод катушки в части, прилегающей к основанию клапана, выполнен с уступом, контактирующим с опорной поверхностью клапана и обеспечивающим постоянный зазор для выхода паров. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

Вернуться к списку