|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОВОДЯЩИХ МИКРОСТРУКТУР |  |
Номер публикации патента: 2024645 |  |
| Редакция МПК: | 5 | | Основные коды МПК: | C23C014/04 C23C014/16 | | Аналоги изобретения: | Appl.Phys.Zett, 51(4), 27 jule 1987, p.242-247. |
| Имя заявителя: | Институт кибернетики им.В.М.Глушкова АН УССР (UA) | | Изобретатели: | Бондаренко Владимир Михайлович[UA]
Борщев Вячеслав Николаевич[UA]
Климентович Валентин Александрович[UA]
Медведев Иван Васильевич[UA]
Смирнов Игорь Михайлович[UA]
Чечко Георгий Андреевич[UA]
Черепков Алексей Иванович[UA] | | Патентообладатели: | Институт кибернетики им.В.М.Глушкова АН Украины (UA) |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронике, в частности, в технологии изготовления сверхбольших интегральных схем. Сущность: острийный электрод перемещают вдоль подложки, подложку покрывают алмазоподобной пленкой, а на острийный электрод подают импульсное напряжение отрицательной полярности.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента