|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ДЛЯ ИОННО - ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2023744 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 910843, кл. C 23C 15/00, 1982. |
| Имя заявителя: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) | | Изобретатели: | Ивашов Е.Н.
Левый А.С.
Оринчев С.М.
Степанчиков С.В. | | Патентообладатели: | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) |
Реферат | |
Изобретение относится к нанесению тонких диэлектрических пленок путем ионного распыления материала в вакууме. Сущность изобретения: магнитная система выполнена в виде основных постоянных магнитов в форме швеллеров, установленных относительно друг друга одноименными полюсами, а внутри швеллеров расположены дополнительные постоянные магниты в форме швеллеров, установленные относительно друг друга также одноименными полюсами, причем магнитные поля основных и дополнительных магнитов пересекаются под
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента