|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО - ЛУЧЕВОГО НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 2014364 |  |
| Имя заявителя: | Рыбинский авиационный технологический институт | | Изобретатели: | Семенов Э.И.
Сидоркин В.П. | | Патентообладатели: | Рыбинский авиационный технологический институт |
Реферат | |
Изобретение относится к средствам нанесения покрытий и тонких пленок методом электронно-лучевого напыления в вакууме и может быть использовано в машиностроении, приборостроении и электронной промышленности. Цель изобретения - повышение качества и долговечности элементов конструкции вакуумной установки.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента