|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ МЕТАЛЛИЗАЦИИ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК |  |
Номер публикации патента: 2010032 |  |
| Имя заявителя: | Физико-технический институт со специальным конструкторским бюро и опытным производством Уральского отделения РАН | | Изобретатели: | Шабанова И.Н.
Соснов В.А.
Шкляева Н.В. | | Патентообладатели: | Физико-технический институт со специальным конструкторским бюро и опытным производством Уральского отделения РАН |
Реферат | |
Использование: в области нанесения покрытий, в частности нанесения тонких пленок из переходных металлов на кремниевые подложки при изготовлении твердотельных приборов. Сущность изобретения: способ металлизации заключается в нанесении металла на подложку методом вакуумного испарения при температуре подложки не более 80С в газовой среде с содержанием углерода не менее 5 об.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента