На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ | |
Номер публикации патента: 2007500 | |
Имя заявителя: | Василенко Николай Васильевич,Ивашов Евгений Николаевич,Оринчев Сергей Михайлович,Степанчиков Сергей Валентинович | Изобретатели: | Василенко Николай Васильевич Ивашов Евгений Николаевич Оринчев Сергей Михайлович Степанчиков Сергей Валентинович | Патентообладатели: | Василенко Николай Васильевич Ивашов Евгений Николаевич Оринчев Сергей Михайлович Степанчиков Сергей Валентинович |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для нанесения магнитных и других пленок в вакууме. Испаритель установлен в вакуумной камере на заглушке, герметично связанной с сильфоном, который герметично соединен с вакуумной камерой, с заглушкой одним концом подвижно связан эксцентриковый вал посредством подшипника качения, а другой конец эксцентрикового вала подвижно связан с водилом, в котором выполнен спиральный паз, водило установлено на валу эле
|