На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

Испаритель

Номер публикации патента: 2000357

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  04942181		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: в технологии нанесения пленок в вакууме при производстве приборов микроэлектроники. Сущность изобретения заключается в том, что в испарителе , обеспечивающем испарение тонкого приповерхностного слоя рабочего материала, в области контактирования с испаряемым материалом испарительный узел имеет гладкую или рифленую поверхность, отверстия для выхода пара располагаются вне области контактирования, а нагреватель встроен в корпус нагревательного узла над областью контактирования.

Вернуться к списку