На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

ИСПАРИТЕЛЬ

Номер публикации патента: 1605575

Вид документа:  A1  Страна публикации:  SU  Рег. номер заявки:  4621185		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение может быть использовано в технологии микроэлектроники, а именно в устройствах для напыления резиста в вакууме. Целью изобретения является сокращение расхода резиста. Испаритель содержит установленный коаксиально внутри тигля 2 дозатор 3 резиста и закрепленный на экране 9 между формирователем 10 потока пара и дозатором 3 соответственно дополнительный экран 11 с отверстиями 14, 15 и упор 16 с центральным отверстием 17. Дозатор 3 выполнен в виде цилиндрической трубки 4 со сквозными поперечными пазами 5 в один ряд и расположенным соосно внутри трубки 4 с возможностью возвратно-поступательного перемещения отсекателем 6 резиста, выполненным в виде стержня 6 с продольной лыской 7 и кольцевыми поперечными канавками 8. При этом поперечные пазы 5 трубки 4 размещены между поперечными канавками 8 стержня 6, а дополнительный экран 11 выполнен в виде двух дисков 12, 13 со смещенными относительно друг друга отверстиями 14, 15. При этом взаимодействующий с отсекателем 6 упор 16 выполнен в виде стакана со сквозными отверстиями 18 на его боковой поверхности, а трубка 4 дозатора 3 выполнена из термического материала, например фторопласта. Предложенное выполнение испарителя позволяет вести порционное дозированное испарение резиста. 5 з. п. ф-лы, 1 ил.

Вернуться к списку