|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2101383 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C008/36 | | Аналоги изобретения: | RU, патент, 2000354, кл. C 23 C 8/36, 1993. |
| Имя заявителя: | Уфимский государственный авиационный технический университет | | Изобретатели: | Будилов В.В.
Шехтман С.Р.
Киреев Р.М. | | Патентообладатели: | Уфимский государственный авиационный технический университет
Будилов Владимир Васильевич
Шехтман Семен Романович
Киреев Радик Марато |
Реферат | |
Изобретение относится к машиностроению. Способ катодного распыления осуществляется с помощью плазмы повышенной плотности, создаваемой между оптически прозрачным экраном, выполненным в виде сетки, и распыляемым материалом, образующими полый катод с плазмой повышенной плотности. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента