|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| ВАКУУМНО - ДУГОВОЕ УСТРОЙСТВО |  |
Номер публикации патента: 94026110 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94026110 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет | | Изобретатели: | Абрамов И.С.
Быстров Ю.А.
Лисенков А. |
Реферат | |
Предлагаемое вакуумно-дуговое устройство может быть использовано для нанесения покрытий высокого качества в производстве электронных приборов, машиностроении, товаров народного потребления. Задача изобретения- заключается в ослаблении и формировании дозированного плазменного потока, что достигается за счет использования аттенюатора, расположенного в рабочем объеме на пути потока между испарителем и подложкодержателем. Аттенюатор состоит из набора плоскопараллельных пластин, плоскости которых параллельны оси устройства, при этом геометрические размеры аттенюатора с коэффициентом ослабления плазменного потока связаны следующим образом:
где L - ширина пластин аттенюатора; H - расстояние между пластинами; vпn - скорость плазменного потока; vis - скорость ионного звука; η - коэффициент прозрачности аттенюатора.
|
Поиск патентов