Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 
Главная       Патентный отдел       Технологии       Справочник ГРНТИ       Прием       Наши координаты       Обратная связь      

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


АППАРАТ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 2385967

Вид документа: C2 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2008118147/02 
   Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 6 
Основные коды МПК: C23C014/35    
Аналоги изобретения: JP 2001032067 A, 06.02.2001. SU 1816288 A3, 15.05.1993. JP 63307270 A, 14.12.1988. JP 2000219965 A, 08.08.2000. RU 2242821 C2, 10.04.2004. RU 2135634 C1, 27.08.1999. 

Имя заявителя: ТОХОКУ ЮНИВЕРСИТИ (JP),
ТОКИО ЭЛЕКТРОН ЛИМИТЕД (JP) 
Изобретатели: ОХМИ Тадахиро (JP)
ГОТО Тецуя (JP)
МАЦУОКА Такааки (JP) 
Патентообладатели: ТОХОКУ ЮНИВЕРСИТИ (JP)
ТОКИО ЭЛЕКТРОН ЛИМИТЕД (JP) 
Приоритетные данные: 07.10.2005 JP 2005-295181 

Реферат


Изобретение относится к аппарату магнетронного распыления для обработки подложки (варианты), установке магнетронного распыления и способу распыления для формирования пленки из материала мишени. Изобретение обеспечивает повышение скорости формирования пленки посредством увеличения плотности эрозии на мишени при каждом перемещении и продление срока службы мишени путем достижения однородного расходования мишени посредством перемещения области эрозии со временем. Пластинчатые магниты (3) установлены вокруг колоннообразного вращающегося вала (2). При вращении колоннообразного вращающегося вала (2) на мишени (1) формируется область эрозии высокой плотности, чтобы увеличить скорость формирования пленки. Так как эта область эрозии перемещается вместе с вращением колоннообразного вращающегося вала (2), мишень (1) расходуется однородно. 6 н. и 30 з.п. ф-лы, 26 ил.
Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь 		Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"