|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ВАКУУМНАЯ НАПЫЛИТЕЛЬНАЯ УСТАНОВКА |  |
Номер публикации патента: 2068458 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C010/00 C23C014/32 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 1013515, кл. C 23 C 14/32, 1983. 2. Вакуумные напылительные установки. - М.: ЦИНТИХимнефтемаш, 1983, с. 15. |
| Имя заявителя: | Казанское предприятие "Вакууммаш" | | Изобретатели: | Головко В.А.
Диульский М.А.
Фахрутдинов Э.Г. | | Патентообладатели: | Казанское предприятие "Вакууммаш" |
Реферат | |
Изобретение относится к вакуумным напылительным установкам. Сущность изобретения: установка содержит корпус 1, крышку 2, магнетроны 3, имеющие плоские катоды-мишени К-М 4, магнитную систему 5, механизм М ориентации подложки 6, включающий диск Д 10. М перемещения в виде винтовой пары 8 и привода 9, Д 10 расположен перпендикулярно оси М перемещения. Плоскости П двух К-М размещены под углом 25 - 35o к ПД 10, а один К-М установлена в центре крышки параллельно ПД 10. 1 ил. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента