|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 2058427 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/34 | | Аналоги изобретения: | 1. Установка для вакуумного напыления ЭАП-50/1Н-И1, ТУ ОНН 538.396-86. 2. Заявка на европейский патент N 0119631, кл. C 23C 15/00, 1984. |
| Имя заявителя: | Дерюгин Александр Иванович | | Изобретатели: | Дерюгин Александр Иванович
Жалилов Рафаэль Хайбуллович
Рогов Александр Владимирович | | Патентообладатели: | Дерюгин Александр Иванович
Жалилов Рафаэль Хайбуллович
Рогов Александр Владимиров |
Реферат | |
Сущность изобретения заключается в том, что вакуумная установка содержит вертикальную камеру с диаметром D и высотой H, неподвижные источники напыления, по меньшей мере, один из которых расположен на торцовой поверхности камеры со стороны загрузки изделий, а другие - на ее цилиндрической поверхности, механизм вращения изделий с элементами их крепления, источники электропитания, системы подачи рабочего и реакционного газов и создания вакуума. Механизм вращения изделия выполнен с возможностью возвратно-поступательного движения по вертикальной оси камеры, а крепежные элементы выполнены с возможностью вращения относительно своей оси через привод вращения, закрепленный на внутреней цилиндрической поверхности камеры, в качестве неподвижных источников используют магнетрон и/или электродуговой испаритель, имеющий форму диска диаметра d или форму трубки длиной l. Вакуумная установка позволяет наносить равномерные и разнотолщинные покрытия на изделия сложной формы при снижении собственных и эксплуатационных стоимостных издержек. 4 з.п. ф-лы, 7 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента