GB 1381036 А, 22.01.1975. RU 2102191 C1, 20.01.1998. WO 02102533 A1, 27.12.2002. JP 11140514 A, 25.05.1999. FR 2227336 A1, 22.11.1974. JP 58171506 A, 08.10.1983.
Имя заявителя:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Изобретатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU) Сидоров Николай Сергеевич (RU) Штинов Евгений Дмитриевич (RU)
Патентообладатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU)
Реферат
Изобретение относится к способу получения высокочистого никеля для распыляемых мишеней и устройствам для его реализации. Технический результат - повышение чистоты никеля, предназначенного для тонкопленочной металлизации магнетронным распылением мишеней. Способ включает хлорирование металлического никеля в токе газообразного хлора при температуре 940-970°С до получения порошка хлорида никеля. Затем проводят сублимацию хлорида никеля во влажном аргоне при температуре 940-970°С, диффузионное восстановление паров хлорида никеля в токе осушенного водорода при температуре 950-980°С до получения компактного восстановленного никеля. После получения восстановленного никеля осуществляют вакуумную зонную перекристаллизацию с получением кристаллов никеля, переплав необходимого по массе количества кристаллов никеля в охлаждаемом плоском кристаллизаторе в вакууме с получением плоского слитка, проплавленного с каждой стороны на полную глубину не менее двух раз. Предложены устройство для хлорирования металлического никеля и устройство для восстановления хлорида никеля, предназначенного для получения высокочистого никеля для распыляемых мишеней. 3 н.п. ф-лы, 1 табл., 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента