RU 2377331 C1, 27.12.2009. RU 2102191 C1, 20.01.1998. GB 1381036 A, 22.01.1975. WO 02102533 A1, 27.12.2002.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА РАН (ИФТТ РАН) (RU)
Изобретатели:
Глебовский Вадим Георгиевич (RU) Сидоров Николай Сергеевич (RU) Штинов Евгений Дмитриевич (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА РАН (ИФТТ РАН) (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии производства распыляемых магнетронных мишеней. Проводят сублимацию порошка хлорида никеля и диффузионное восстановление паров хлорида никеля с получением компактного восстановленного никеля. При этом сублимацию порошка хлорида никеля проводят за 10 проходов сублимационной зоны в потоке влажного аргона при температуре 930°С, а полученный слиток хлорида никеля загружают в реактор и осуществляют его сублимацию в потоке осушенного аргона и диффузионное восстановление паров хлорида никеля при температуре 930°С в потоке осушенного водорода. Затем проводят вакуумную зонную перекристаллизацию с получением монокристаллов никеля и переплав необходимого по массе количества монокристаллов никеля в плоском кристаллизаторе в вакууме с получением плоского слитка, проплавленного с каждой стороны на полную глубину не менее двух раз. Техническим результатом является повышение чистоты никеля для получения монокристаллов и распыляемых мишеней. 1 табл., 1 пр.
Поиск патентов
Получить полное описание патента