|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| АБРАЗИВНЫЕ ЧАСТИЦЫ ДЛЯ МЕХАНИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИ |  |
Номер публикации патента: 2356926 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C09K003/14 C09G001/02 | | Аналоги изобретения: | WO 01/85868 А, 15.11.2001. US 2003/124850 А, 03.07.2003. WO 01/98201 А, 27.12.2001. RU 96113566 A1, 20.03.1997. SU 817038 A1, 05.04.1981. RU 2064943 C1, 10.08.1996. US 2002/129560 A1, 19.09.2002. US 2002/028636 A1, 07.03.2002. WO 01/74959 A, 11.10.2001. US 6527817 B1, 04.03.2007. US 2001/017007 A1, 30.08.2001. JP 2000239653 A, 05.09.2000. JP 2001009701 A, 16.10.2000. |
| Имя заявителя: | У.Р. ГРЭЙС ЭНД КО.-КОНН. (US) | | Изобретатели: | ЧУ Цзя-Ни (US)
ПРАЙОР Джеймс Нил (US) | | Патентообладатели: | У.Р. ГРЭЙС ЭНД КО.-КОНН. (US) |
Реферат | |
Группа изобретений относится к абразивным и/или химически активным частицам и их использованию при полировке и планаризации. Абразивная композиция для полировки подложек содержит множество абразивных частиц, содержащих распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц, по объему, составляет от примерно 20 нм до примерно 100 нм, значение разброса, по объему, является равным или большим чем примерно 15 нм, где фракция указанных частиц, больших чем примерно 100 нм, соста
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента