На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ ТВЕРДЫХ ТЕЛ ТОНКИХ ПЛЕНОК ИЗ ПОЛИТЕТРАФТОРЭТИЛЕНА С ВЫСОКОЙ ТЕРМОСТАБИЛЬНОСТЬЮ | |
Номер публикации патента: 2304588 | |
Имя заявителя: | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова" (НИФХИ им. Л.Я. Карпова) (RU),САМСУНГ ЭЛЕКТРОНИКС Ко., Лтд. (KR) | Изобретатели: | Брук Марк Аврамович (RU) Жихарев Евгений Николаевич (RU) Спирин Александр Владимирович (RU) Кальнов Владимир Александрович (RU) Волегова Ирина Алексеевна (RU) Кардаш Игорь Ефимович (RU) | Патентообладатели: | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова" (НИФХИ им. Л.Я. Карпова) (RU) САМСУНГ ЭЛЕКТРОНИКС Ко. Лтд. (KR) |
Реферат | |
Изобретение относится к химии полимеров и может быть использовано в электронной технике, оптике, медицинской технике. Описан способ нанесения тонких пленок из политетрафторэтилена на поверхность твердых тел путем формирования пленки непосредственно из паров тетрафторэтилена при давлениях 0,1-20 торр под действием пучка электронов с энергией 1-1000 кэВ в рабочей камере, отделенной от источника электронов, отличающийся тем, что процесс проводят при плотностях потока электронов, падающего на поверхн
|