|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ ТВЕРДЫХ ТЕЛ ВЫСОКОРАЗРЕШАЮЩЕГО ИЗОБРАЖЕНИЯ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СЛОЕВ НА ОСНОВЕ ТОНКИХ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2247127 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C08F002/54 C08J007/18 H01L021/306 | | Аналоги изобретения: | J.Y.TSAO, AT ALL. UV laser photopolymerization of volatile surfaceadsorbed methyl methacrylate. Appl.Phys.Lett. - 1983, Vol.42, N12, P.997. RU 2190628 C1, 10.10.2002. |
| Имя заявителя: | ФГУП ГНЦ РФ Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова (RU) | | Изобретатели: | Брук М.А. (RU)
Жихарев Е.Н. (RU)
Спирин А.В. (RU)
Кальнов В.А. (RU)
Бузин А.И. (RU)
Кардаш И.Е. (RU) | | Патентообладатели: | ФГУП ГНЦ РФ Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области химии полимеров и может быть использовано в электронной технике, например, для нанесения литографической маски или иных фукциональных слоев. Описывается способ нанесения на поверхность твердых тел высокоразрешающего изображения функциональных слоев путем полимеризации мономеров из паровой фазы под действием остросфокусированного электронного луча с энергией 1-1000 кэВ с последующим вводом паров мономера при давлении 10-4-10 торр.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента