|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОЛИГО(ХЛОРВИНИЛ)СИЛСЕСКВИОКСАНОВ |  |
Номер публикации патента: 94042490 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94042490 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Московская государственная академия тонкой химической технологии им.М.В.Ломоносова | | Изобретатели: | Женева М.В.
Лахтин В.Г.
Рябков В.Л.
Шелудяков В.Д.
Копылов В.М.
Чернышев |
Реферат | |
Изобретение относится к получению кремнийорганических полимеров, предназначенных для использования в электронной промышленности в качестве фоторезистов для фотолитографии. Целью изобретения является получение олиго(хлорвинил)силсесквиоксанов, сохраняющих растворимость при хранении с температурой размягчения выше 60oС и пригодных для использования в качестве компонентов фоторезистов для фотолитографии. Суть заключается в проведении гидролиза трихлорвинилтрихлорсилана (ТХВТХС) смесью этилового спирта с водой при мольном соотношении TXВTXC : вода : спирт = 1 : (4 - 10) : (20 - 30), выдерживают реакционною смесь не менее 100 ч с последующим взаимодействием реакционной массы с триметилхлорсиланом, взятым в количестве 10 - 20 мол.% от исходного ТХВТХС и выделением продукта.
|
Поиск патентов