|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ СИНТЕЗА ОЛИГО(ХЛОРВИНИЛ)СИЛСЕСКВИОКСАНОВ |  |
Номер публикации патента: 2087491 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C08G077/24 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 2723986, кл. 556 - 450, 1955. Патент Великобритании N 737963, кл. 2(3), 1955. Wagner GH, Journal American Chemistry Society, 1949, v. 1, N 6, р. 3567 - 3568. Лахтин В.Г. и др. Олигометилхлорвинилсилоксаны. - Депанированная рукопись N 946-ХП89 от 20.11.89. |
| Имя заявителя: | Московская государственная академия тонкой химической технологии им.М.В.Ломоносова | | Изобретатели: | Женева М.В.
Лахтин В.Г.
Рябков В.Л.
Шелудяков В.Д.
Копылов В.М.
Чернышев Е.А. | | Патентообладатели: | Московская государственная академия тонкой химической технологии им.М.В.Ломоносова |
Реферат | |
Изобретения относится к области получения кремнийорганических полимеров, предназначенных для использования в электронной промышленности в качестве фоторезистор для фотолитографии. Целью изобретения является получение олиго(хлорвинил)силсенсквиоксанов, сохраняющих растворимость при хранении с температурой размягчения выше 60o и пригодных для использования в качестве компонентов фоторезисторов для фотолитографии. Суть заключается в проведении гидролиза трихлорвинилтрихлорсилана (ТХВТХС) смесью этилового спирта с водой при молярном соотношении ТХЫТХС: вода-спирт = 1:(4 - 10):(20 - 30), выдерживании реакционной смеси не менее 10 ч, с последующим взаимодействием реакционной массы с триметилхлорсиланом, взятым в количестве 10 - 20% мол. от исходного ТХВТХС и выделении продукта. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента