|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПОРИСТАЯ ПЛЕНКА ИЗ ПОЛИПАРАКСИЛИЛЕНА И ЕГО ЗАМЕЩЕННЫХ, СПОСОБ ЕЕ ПОЛУЧЕНИЯ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР С ЕЁ ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ |  |
Номер публикации патента: 2218365 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C08J005/18 C08G061/02 H01L021/76 H01L049/02 | | Аналоги изобретения: | US 3830733 A, 20.08.1974. WO 98/18570 A1, 07.05.1998. US 5879808 A, 09.03.1999. SU 1151546 A, 23.04.1995. RU 2002519 C1, 15.11.1993. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я.Карпова" (RU),ХИТАЧИ, ЛТД. (JP) | | Изобретатели: | Кардаш И.Е. (RU)
Пебалк А.В. (RU)
Маилян К.А. (RU)
Чвалун С.Н. (RU)
ТАКАХАСИ Акио (JP)
САТСУ Юичи (JP)
НАКАЙ Харуказу (JP) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я.Карпова" (RU)
ХИТАЧИ
ЛТД. (JP) |
Реферат | |
Изобретение относится к получению пористых пленок из полипараксилилена и его замещенных, имеющим низкую диэлектрическую константу и высокую термостойкость, и полупроводниковому прибору, в котором эта пленка используется в качестве изолирующего слоя. Пористые пленки получают сублимацией циклического димера параксилилена или его замещенных при 30-160oС до образования газообразного димера с последующим пиролизом полученного сублимата от более 800oС до 950oС при скорости потока циклического димера из
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента