|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СОПОЛИМЕРЫ ЭФИРОВ 2 - ЦИАНАКРИЛОВОЙ КИСЛОТЫ С КРЕМНИЙСОДЕРЖАЩИМИ МЕТАКРИЛАТАМИ ДЛЯ ПЛАЗМОСТОЙКИХ РЕЗИСТНЫХ СВЕРХТОНКИХ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 2039068 |  |
| Имя заявителя: | Институт элементоорганических соединений им.А.Н.Несмеянова РАН | | Изобретатели: | Магер К.А.
Лопатина И.В.
Сенченя Н.Г.
Гусева Т.И.
Гололобов Ю.Г.
Волкова Л.М.
Матвеева Н.К. | | Патентообладатели: | Институт элементоорганических соединений им.А.Н.Несмеянова РАН |
Реферат | |
Использование: для сверхтонких плазмостойких резистных полимерных покрытий в молекулярной электронике. Сущность: сополимеры эфиров 2-цианакриловой кислоты с кремнийсодержащими метакрилатами общей формулы {[-CH2-C(CN)/COOR-]m-[-CH2-C(CH3)-(COOR1)-]n}k где R C2H5-C10H21 CH2-CH=CH2 CH2-CH2-OCH2-CH=CH2 CH2CF2-CF2H CH2COOCH2CF2CF2H CH2COOCH2=CH2 R1 CH2-Si(CH3)2-O-Si-(CH3)3 CH2-Si(CH3)3 CH2CH2CH2CH2-Si(CH3)2-O-Si-(CH3)3 m 99 1 мол.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента