На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БИС - (ТРИМЕТИЛСИЛИЛ)АМИНОТРИАЛКОКСИГЕРМАНИЯ | |
Номер публикации патента: 2024534 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C07F007/30 | Аналоги изобретения: | 1. Naturwiss 61, 544, 1964. |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт химических реактивов и особо чистых химических веществ (Научно-производственное объединение "ИРЕА") | Изобретатели: | Гринберг Е.Е. Ноздря С.М. Нечаева Г.Ю. Шмелев Л.В. Хангажеев С.Х. | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт химических реактивов и особо чистых химических веществ (Научно-производственное объединение "ИРЕА") |
Реферат | |
Использование: в полупроводниковой технике для плазмохимического нанесения покрытий, а также в качестве исходных продуктов при синтезе сложных элементоорганических соединений. Способ получения бис(триметилсилил)аминотриалкоксигермания ф-лы: (R)3GeN[Si(CH3)3]2 , где R-низший алкил, заключается во триметилсилиламинировании соответствующего триалкоксигерманийпроизводного гексаметилдисилазана при 90-130°С при 1,5-4-кратном избытке от стехиометрии гексаметилдисилазана и последующим дистилляционным вы
|