

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ОЧИСТКИ ТЕТРАФТОРМЕТАНА И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ

Номер публикации патента: 2215730

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2002101934/04

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	7
Основные коды МПК:	C07C017/389 C07C017/10 C07C017/007 C07C019/08
Аналоги изобретения:	JP 08-081399 А, 26.03.1996. US 5417742 А, 23.05.1995. RU 2054375 С1, 20.02.1996. GB 2310853 А, 10.09.1997.

Имя заявителя:	СОВА ДЕНКО К.К. (JP)
Изобретатели:	ОНО Хиромото (JP) ОХИ Тосио (JP)
Патентообладатели:	СОВА ДЕНКО К.К. (JP)

Реферат

Изобретение относится к очистке тетрафторметана, который используют в качестве газа для травления или очищающего газа в производстве полупроводниковых устройств. Способ осуществляют путем взаимодействия тетрафторметана, содержащего в качестве примесей одно или несколько производных этилена, одно или несколько углеводородных соединений, монооксид углерода и/или диоксид углерода, с целитом и/или углеродсодержащим адсорбентом.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"