ПОРОШОК MoO2, СПОСОБЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛАСТИНЫ ИЗ ПОРОШКА MoO2 (ИХ ВАРИАНТЫ), ЭЛЕМЕНТ И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ ИЗ НЕЕ, СПОСОБ РАСПЫЛЕНИЯ С ПРИМЕНЕНИЕМ УКАЗАННОЙ ПЛАСТИНЫ
JP 63030321 А, 09.02.1988. US 4595412 А, 17.06.1986. RU 2206539 C1, 02.06.2003. RU 2110604 C1, 10.05.1998. RU 2117972 C1, 20.08.1998. US 2003030059 A1, 13.02.2003. RESSLER T. et al., Formation of bronzes during temperature-programmed reduction of МоО3 with hydrogen - an in situ XRD and XAFS study, Solid State lonics, 2001, vol.141-142, p.243-251.
Имя заявителя:
Х.К.Штарк Инк. (US)
Изобретатели:
МАКХЬЮ Лоуренс Ф. (US) КУМАР Прабхат (US) МИНДЕРИНГ Дэвид (US) ВУ Ричард (US) ВЕТТИНГ Герхард (DE) НИКОЛСОН Ричард (US)
Патентообладатели:
Х.К.Штарк Инк. (US)
Приоритетные данные:
22.07.2003 US 60/489,217 30.01.2004 US 60/540,911
Реферат
Изобретение может быть использовано при изготовлении органических светоизлучающих диодов, жидкокристаллических дисплеев, плазменной дисплейной панели, тонкопленочного солнечного элемента и других электронных и полупроводниковых устройств. Предложен элемент, включающий мишень ионного распыления, где эта мишень включает обработанную пластину из MoO2 высокой чистоты. Способ изготовления такой пластины включает изостатическое прессование компонента из более чем 99% стехиометрического порошка MoO2 в заготовку, спекание в вакууме этой заготовки при условиях поддержания более 99% стехиометрии MoO2 и формирование пластины, включающей более 99% стехиометрического MoO2. В другом варианте способа изготовления указанной пластины компонент, состоящий из порошка, содержащего более 99% стехиометрического MoO2, обрабатывают в условиях горячего прессования с формированием пластины. Способ изготовления тонкой пленки включает стадии распыления пластины, содержащей более 99% стехиометрического MoO2, удаления молекул MoO2 с пластины и нанесения молекул MoO2 на субстрат. Также предложен порошок MoO2 и способ распыления указанной пластины с использованием магнетронного распыления, импульсного лазерного распыления, ионно-лучевого распыления, триодного распыления и их сочетания. Изобретение позволяет повысить работу выхода электрона материала мишени ионного распыления в органических светоизлучающих диодах. 6 н. и 10 з.п. ф-лы.